微纳加工

氩离子抛光

无应力镜面,提升 EBSD 标定率

利用氩离子轰击去除机械抛光应变层,获得无应力镜面,是 EBSD 高标定率与 TEM 薄区制备的关键工序。

适用场景

EBSD 样品去应力镜面处理
TEM 样品离子减薄终抛
截面 / 界面的低损伤平整

核心能力 · 设备亮点

低损伤

离子能量可控,保留原始组织。

均匀减薄

双枪对称轰击,薄区均匀。

实时观测

抛光过程可选配显微镜监控。

典型参数

离子Ar⁺ 0.5–6 kV
角度可调 ±10°
效果去除应变层

样品要求

  • 已完成机械预磨抛的样品
  • 注明材质与易溅射风险
  • 建议直径 ≤ 3 mm(圆片)

交付标准

  • 抛光后样品
  • 表面状态记录
  • 建议测试参数

服务流程

  1. 1

    提交需求 · 在线下单

  2. 2

    方案确认 · 顾问对接

  3. 3

    样品寄送 · 协议随附

  4. 4

    实验测试 · 实时跟进

  5. 5

    数据交付 · 三重提醒

  6. 6

    财务结算 · 申请开票